smic.18 mim电容的一点疑问

小蘑菇爱吃肉 · 发表于 2014-8-21 13:48:55

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mim电容的构造，m5层和m6层，中间为一层mim层，m5和m6之间有通孔，我自己的理解是mim层和m6层形成电容，但是不知道mim是什么层？如果是这样的话，mim应该怎么连出去？
谢谢

可怜的小薇薇安 · 发表于 2025-5-14 14:51:36

所以可以直接在电容里面打孔吗

红红的西瓜 · 发表于 2022-1-8 20:15:39

请问一下，现在的MIM中间填充的介质时二氧化硅还是氮化物呢？

Joychip20211202 · 发表于 2021-12-10 11:18:58

fs_cyl 发表于 2016-5-15 17:35
回复 13# icuser_zhul

tsmc 018工艺中 M5 M6面积几乎一致，而且正对面积全部被via打通了，这样min层还有 ...

SMIC MIM剖面图如下，

1、请问各位前辈，这个电容构成是由MIM和Mn构成的吧？
2、看已经点亮产品的版图设计，实际产品的MIM电容构成有M5/M4/M3，还有MIM/MINDMY，V4/V3层，确实如你所讲，M5/M4/M3面积一样大的，而且正对面积全部被via(V4/V3)打通！如下图所示（我暂时没有把MIN.MINDMY层加上去），我很疑惑，看不懂，还请各位大神给予指点这个电容构成和原理怎样？

zhao!!! · 发表于 2020-11-25 17:15:12

飘过

邵师傅 · 发表于 2020-11-25 16:22:41

icuser_zhul 发表于 2016-3-17 08:38
回复 11# 秃顶电子

这个图直观，解除了心里的困惑

洋仔 · 发表于 2019-8-14 21:57:24

SMIC180的mim电容，和TSMC的还是区别很大，SMIC的他的电容严格区分了两端，正负端，在layout和schematic中得严格对应一致，否则LVS过不了！而且两个端口都是通过M6接出去的。

快乐小葵花 · 发表于 2016-5-16 17:58:29

想问问，MIM层会出mask吗？

fs_cyl · 发表于 2016-5-15 17:35:42

回复 13# icuser_zhul

tsmc 018工艺中 M5 M6面积几乎一致，而且正对面积全部被via打通了，这样min层还有作用么

fs_cyl · 发表于 2016-5-15 16:50:11

回复 13# icuser_zhul

好棒！

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