为什么光刻用的光罩最大尺寸是26*33mm？

tencome · 发表于 2023-2-13 23:42:39

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请教一下大神，为什么光刻用的光罩最大尺寸是26*33mm？这个是怎么计算出来的？

tencome · 发表于 2023-2-26 19:55:18

没人知道么？

jameszhong · 发表于 2023-3-1 08:29:46

ASML Scanner 最大支持这个， Canon 和Nikon 的最大尺寸不一样，但是ASML市占率80%以上，所以基本按这个来

guhongwuji · 发表于 2023-3-16 16:09:59

曝光市场所决定

[求助] 为什么光刻用的光罩最大尺寸是26*33mm？