DRC 宽metal与窄metal最小间距

QQ874283381 · 发表于 2015-12-24 10:28:42

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遇到一个问题，gf110nm工艺的， DRC rule 是这样定义的：a . space 》=0.21， b. wide metal , length and width >10um , space is 0.6um.问题：一个10um 宽度的metal5,与一个0.2um宽度的metal5，间距0.21um.这样可有风险？？？
按理说width =10um,没有超出，间距0.21um 也算满足最小间距了，不知道这样可有风险。
在TOP layout 综合 PR 绕线好多很接近的线.

tuohong · 发表于 2015-12-24 10:41:46

layout中好多问题都不是“是”与“非”的问题。这个情况就很典型，间距略小会影响良率，但是会影响到1%，0.1%还是0.01%，这个跟制程和工作条件都相关，你可以想为什么是>10um间距要拉大，为什么不是10.1或者9.9?
风险永远存在，设计规则只是为了让我们尽量减少风险，在风险、效率和成本等方面取一个平衡。并且一般的设计规则都会有一定的裕量，你这里满足了设计规则，一般情况下可以认为风险小到可以忽略。