MPW各家不同metal层数之间的影响？

piaox · 发表于 2016-8-17 09:56:24

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我最近也遇到一个问题，在MPW时各家有不同metal层数，我们的metal层数少于别家的，我们5层metal，别家8层。这牵涉到一个top metal 厚度的问题，和顶层metal 到次顶层 metal 的 via 深度的问题，这是我的困惑，能帮我解答下吗？

pph_cq · 发表于 2021-2-26 09:36:43

我有点明白了，A是5层，B是8层，A的top metal应该和B的M8在同一块mask上，为了不影响B,所以A区域的M5,M6,M7是dummy，实际上A不会用到M5,6,7，所以不会对A有影响。

tuohong · 发表于 2021-2-26 11:06:19

说白点儿就是工艺不同的时候，做你的时候把别人家作废掉了，做别人家的时候把你的作废掉了。

floraysu · 发表于 2021-2-25 16:40:48

看了回复，还是没明白怎么回事

tiamo1222 · 发表于 2016-8-29 19:38:09

MPW是说多家共用一套mask，而不是一片wafer。mask只需要保证自己所有的层次是对的就ok。
最终流片的时候只需要选择特定客户对应的mask去做光罩就好了，当然每一片wafer上必然包含其他家客户的部分数据，如果是不同的metal/topmetal/option就废弃，如果可以共用，则一起划片。
至于lz所想的问题，根本不存在。
不可能是metal4以上，别家metal567长上去，你这边是空白，最终topmetal两家一起wafer out。如果是metal8的flow，你metal567没有数据还会有dummy填充不然不利于别人flow中工艺控制。如果是你metal5的flow，metal4以上直接topmetal，其他家数据部分直接放弃。

zjf_518 · 发表于 2016-8-28 21:53:07

前几天也在想这个问题，工厂是什么方式解决的

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