Poly Efuse如何确认已经熔断

henryshen2000 · 发表于 2016-8-19 17:43:27

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用Poly做的Efuse ，怀疑没有熔断，读取数据时不正确，有没有其它方法可以确认？
如果是Metal做的Efuse，在显微镜下可以看到明显的熔断痕迹，但是Poly似乎不明显。

求有经验的指点！！！

henryshen2000 · 发表于 2016-8-22 10:45:23

多谢math123，看来应该是我们检测的点确实没有熔断。
也谢谢chengji1999，没办法直接测，因为金属在下层没法直接测到，测试需要另外做PROBE点！

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