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Process中的Lot-to-Lot variation是什么?

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发表于 2008-12-4 12:38:04 | 显示全部楼层 |阅读模式

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呵呵,大家不要笑我,这里的LOT是什么意思啊?

多谢多谢!
 楼主| 发表于 2008-12-4 16:57:17 | 显示全部楼层
太谢谢啦!

多谢多谢。呵呵。能进一步问个问题么,嘿嘿:

为什么把25个算作一批呢?意思是每25个WAFER一组,看和下一组的25个wafer之间的区别?

如果本批次可能就需要12个WAFER,那么就不需要看lot to lot variation了?

--------问题实在是初级,不好意思哈

[ 本帖最后由 格子格子 于 2008-12-4 17:00 编辑 ]
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