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[原创] 目前工艺中遇到的电容种类小总结,如有不对,请多多指教和补充。

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发表于 2021-1-4 15:25:42 | 显示全部楼层 |阅读模式

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1)MIM (metal insulator metal):是利用上下两层metal之间的C,即极板电容,下极板为Mn,上极板为Mn+1,因为普通的Mn和Mn+1在三维空间隔着绝缘层离得比较远,所以C并不大。
2)MOM (metal oxide metal ):是finger电容,即利用同层metal边沿之间的C,为了省面积,可以多层metal叠加。
3)Poly-Well电容:工艺中有NPoly-NWell 电容和PPoly-PWell电容两种。
4)MOS电容:栅端作为阳极,源漏短接作为阴极,容值大小不准确。
5)PIP(poly insulator poly):是多晶硅电容,上下两层多晶硅与之间的绝缘层构成电容。

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