金属线的十字连接，guarding ring，和seal ring问题

caotulang · 发表于 2015-4-9 18:36:50

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本帖最后由 caotulang 于 2015-4-9 18:39 编辑

版图中由几个问题，期望前辈解答一.我看到有的版图的金属线十字（或丁字）时，是斜角的如下图。
金属十字交叉.png

而我做的都是直角的。下图
自己画的十字.png

怎么能做到那中斜角的十字，而且这样有什么好处？
还有就是这种多边形的连接线怎么做？下图，就是用创建多边形（creat—polygon）么？不如他这个标准也很慢啊。
多边形金属.png

二.guarding ring的选择
1.NMOS,和PMOS间为了防止闩锁要加哪种保护环？ N注入+contact+metal1？然后接地还是接vdd？
2.模拟部分和数字部分的隔离要加哪种保护环？看文献是两层：“N型掺杂到电源接触和P型掺杂到衬底接触”这是什么意思？
3.整个芯片的seal ring怎么做？是包括所有的层和通孔对吧，但是具体的呢
design rules里面只有seal ring的信息，去除buffer area10um，sealing ring只有15um，但是看到有说80~100um的？
因为是小白，最好是能详细点，包括用到的层，宽度，要是能截个图实际看看就更好了。问的比较乱，见谅

motofatfat · 发表于 2015-4-10 10:45:53

怎么能做到那中斜角的十字，而且这样有什么好处？
有一個切斜角的功能 , 讓電流順一些也讓製程好做一些

先畫長方形切斜角 + 長方形 merge 也能做到

1.NMOS,和PMOS间为了防止闩锁要加哪种保护环？  2 種都加
N注入+contact+metal1？然后接地还是接vdd？
N型接 VDD , P型接 GND

2.模拟部分和数字部分的隔离要加哪种保护环？ 2 種都加
看文献是两层：“N型掺杂到电源接触和P型掺杂到衬底接触”这是什么意思？
N型 ( NPLUS + OD 那種 ) 接 VDD , P型 ( PPLUS + OD 那種 )  接 GND

3.整个芯片的seal ring怎么做？是包括所有的层和通孔对吧，但是具体的呢
design rules里面只有seal ring的信息，去除buffer area10um，sealing ring只有15um，但是看到有说80~100um的？

看 design rule 上的圖 , 愛作多寬作多寬  T 晶圓代工的 0.18 u 大約 30 um

caotulang · 发表于 2015-4-10 17:49:17

回复 2# motofatfat

谢谢啦，回答的这么详细。帮了我大忙了。还有sealing ring就一层一层叠起来就好了是么？

caotulang · 发表于 2015-4-11 09:13:01

回复 2# motofatfat

pad和esd电路是放在seal ring的里面还是外面？

zgf85644958 · 发表于 2015-4-11 15:49:37

回复 4# caotulang

sealring在design rule里面应该都有写的，ESD和PAD肯定放在里面啦，外面都没用了

motofatfat · 发表于 2015-4-12 18:21:30

回复 3# caotulang

sealring 在最外圍 , 預防切割時傷了內部
一層一層沒錯 , design rule 會建議怎麼堆疊
不是每一層形狀都一樣

caotulang · 发表于 2015-4-13 08:09:04

回复 5# zgf85644958

谢谢喽，手底下有的资料写的都比较粗略

ttliu · 发表于 2015-4-25 15:21:54

回复 2# motofatfat

受教了。

Crystal2015 · 发表于 2015-8-1 19:39:42

请问一下楼主切斜角是怎么在切呢？详细步骤可以说明一下吗？

戴上面具做人 · 发表于 2015-9-16 17:34:37

S选中直角，Edit/Other/Modify Corner...然后设置角的大小

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