CMOS MEMS – PRESENT AND FUTURE

kofkoy2000 · 发表于 2013-9-21 19:16:17

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CMOS MEMS的一篇综述，介绍了不同的CMOS-MEMS工艺，并给出了相应的例子。绝对是一篇了解CMOS-MEMS的好文章。推荐看一看。
The paper reviews the state-of-the-art in the field of CMOS-based microelectromechanical systems (MEMS).
The different CMOS MEMS fabrication approaches, pre-CMOS, intermediate-CMOS, and post-CMOS, are summarized
and examples are given. Two microsystems fabricated with post-CMOS micromachining are presented,
namely a mass-sensitive chemical sensor for detection of organic volatiles in air and a 10-cantilever force sensor
array for application in scanning probe microscopy. The paper finishes with a look into the future, discussing key
challenges and future application fields for CMOS MEMS.

kofkoy2000 · 发表于 2013-9-21 19:26:35

回复 1# kofkoy2000

忘了附件。

pqzhu88 · 发表于 2013-10-9 04:37:54

學習了!!好资料，多谢楼主了

zlhrsy · 发表于 2013-11-5 10:13:05

看看先

瑜伽 · 发表于 2013-11-10 10:20:47

良好的数据...

瑜伽 · 发表于 2013-11-10 10:37:54

更多关于这个话题...

kofkoy2000 · 发表于 2013-11-10 22:18:18

欢迎添加资料，发表看法。
Invensense与TSMC合作是近年的一个非常成功的案例。Invensense提供设计，TSMC提供代工。

InvenSense为智能型运动处理方案的先驱、全球业界的领导厂商，驱动了运动感测人机接口在消费性电子产品上的应用。公司提供的集成电路(IC)整合了运动传感器-陀螺仪以及相对应的软件，有别于其他厂商，有着小尺寸、高整合、高性能、高可靠度与低价格的优势。公司产品可应用于众多市场上
公司拥有四种专有技术优势：专利的Nasiri-Fabrication制程，先进的MEMS陀螺仪设计，可提供传感器讯号处理方案(signal processing)及运作本司运动处理平台(Motion Processing)关键之融合算法技术(Sensor Fusion)的混合讯号电路系统(mixed-signal circuitry)，以及本公司的运动处理数据库与运动感测应用(Motion Application)软件方案。因本公司可组装、可扩展的平台架构，从一轴的模拟陀螺仪，到完整整合之三轴与六轴的数字运动处理方案为止，本公司能提供市场多种整合性运动感测产品。
InvenSense于2003年成立，总公司在Sunnyvale, California，测试厂位于台湾，并在台湾、韩国、日本、迪拜设有业务处及应用支持服务处。[2]

kofkoy2000 · 发表于 2013-11-10 22:19:14

不知哪位有Nasiri-Fabrication制程的详细技术？
欢迎添加资料。

wangjade · 发表于 2013-11-11 18:32:18

多谢分享！

n002006020 · 发表于 2013-11-13 17:22:28

感謝分享~~~~~~~~

[资料] CMOS MEMS – PRESENT AND FUTURE

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