为什么smic65nm和55nm的工艺中只有mom电容没有mim电容？

kennyg8304 · 发表于 2013-8-22 23:02:13

mim比mom多Mask

xuriver2012 · 发表于 2013-8-25 09:51:50

据我了解momcap的电容密度没有mim的大吧，而且mim cap的寄生电容会小

firevortex · 发表于 2013-8-25 11:34:42

回复 12# xuriver2012

是的，而且根据文档，没觉得mom比mim匹配好啊。。

lyfztz · 发表于 2013-8-26 08:29:16

什么是MIM和MOM，请教一下楼主！

stealingling · 发表于 2013-8-26 19:08:09

到底是mim的匹配好还是mom的匹配好啊，怎么大家说的都不一样...
还有匹配性和精度是一回事吗？

jjchen · 发表于 2013-12-16 23:54:40

謝謝樓主提供這個問題~

analog123 · 发表于 2013-12-21 17:12:46

mom匹配更好，而且不需要额外的mask；到65,40后单位密度更高。

上海大学 · 发表于 2015-5-21 18:14:47

mom匹配好，不需要MIM那层mask，电容两头差异小，可以说无正负极之分

william_kuang · 发表于 2015-6-9 16:13:59

回复 1# stealingling

能发我一份SMIC的工艺文件吗

bright_pan · 发表于 2015-6-9 16:33:32

mom是侧壁电容，你可以认为是相邻的两个metal line之间的insulator做介质的电容，这个距离，就是两根metal line的距离，layout很容易调节的，工艺实现不用额外的；

MIM需要额外的一层mask。

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