在线咨询 切换到宽版
eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网

 找回密码
 注册

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

搜帖子
楼主: stealingling

[求助] 为什么smic65nm和55nm的工艺中只有mom电容没有mim电容?

[复制链接]
发表于 2015-12-1 17:04:22 | 显示全部楼层
学习学习
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2016-2-2 17:44:02 | 显示全部楼层
感谢您的回答,我也是这么做的,可是run lvs就是提示cells not be identified,Nothing in layout!
我是这么设置的首先我在TF中定义了5层layer DUM,DUM1~DUM4。在LVS中添加对应的layer MAP,我想做m1和m1间的插值电容MCAPX1,上极板MTP1使用DUM1和M1识别,下级板MTN1使用DUM和M1识别,电容识别layer MTL:DUM1 AND DUM; m1m2叠加在一起与m1m2叠加在一起间的电容MCAPX102,上级MTP102:DUM1,DUM2和M1,M2 ,下级MTN102:M1 M2 DUM,简单编写如下:
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2019-4-26 10:30:54 | 显示全部楼层
MOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
可能任何工艺都有这个cap, 不需要增加额外的MASK

MIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍.需要多加一层MASK MCT什么的,MASK是按层收费。而且如果后期量上来了,多一层MASK意味着多一道或者多道工序,每片wafer的成本也会相应提高
回复 支持 1 反对 0

使用道具 举报

发表于 2019-4-26 10:34:54 | 显示全部楼层
单独提取mom的时候要加个其他器件,电阻或者mos管都可以。不然就是会Nothing in layout!。还有有些rule里面并没有mom的提取和计算规则。
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2019-9-6 19:47:09 | 显示全部楼层
本帖最后由 swallow8666 于 2019-9-6 20:00 编辑

mom不需要加mask,mim需要加mask,mom提取后仿电容值时model不准,适合不需要绝对值太精准的电容,mim电容值提取较为准确。
回复 支持 1 反对 0

使用道具 举报

发表于 2019-9-7 15:53:01 | 显示全部楼层
The accuracy and matching of MIM and MOM is near the same, especially on the advanced process.
But the MOM needless extra Mask.
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2021-1-25 09:07:40 | 显示全部楼层
MIM 要多 mask , 单位面积电容高, 耐压 <15v , metal- metal 间多道 mask 让距离变小  单位电容会拉高 .
MOM 不必多mask , 单位面积电容很小, 耐压高些  mom 就一般IC 两层间寄生电容 .  有些mom 工艺就看 ic两个 metal间耐压  可到 ~200v .. 如果 UHV500v 以前看过 M1-m2 >400v 会出问题 , 500V uhv metal–metal2 不能 跨越问题 . VIS 高压看过mom 可到 200v.
如果 ADC cap 有些用 mom每个 cap可小 <50f, mom可以做, momcap 版图得layout fish-bone增加电容 , 要自己建模 .

65nm 下是否可能 metal 间是否更近? 寄生电容变大?? 没用过 90nm下.  0.25一般 mim  mom都会有0.35um 上都只 pip  

回复 支持 1 反对 0

使用道具 举报

发表于 2022-8-9 21:32:59 | 显示全部楼层
Good Luck
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2022-11-29 18:59:59 | 显示全部楼层
请问一下smic65的库library里面没有category是怎么回事?您有这种情况吗
回复 支持 反对

使用道具 举报

发表于 2024-4-22 21:25:22 | 显示全部楼层
请问大神有smic55nm库吗?打扰您
回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

关闭

站长推荐 上一条 /3 下一条

手机版| 小黑屋| 关于我们| 联系我们| 隐私声明| EETOP 创芯网
( 京ICP备:10050787号 京公网安备:11010502037710 )

GMT+8, 2025-9-8 23:26 , Processed in 0.016156 second(s), 3 queries , Gzip On, Redis On.

eetop公众号 创芯大讲堂 创芯人才网
快速回复 返回顶部 返回列表