请问自己画mim电容的注意事项及怎样画能保证可靠性？

kuaiyu

最近用smic 0.13mmrf 1P8M工艺画delta-sigma ADC, 排电容阵列时感觉PDK里调出来的mim电容（图1), 顶级板和底级板分别在两边， 这样的话走线很不方面，寄生电容会很大，所以想改成图2这种样子，用这种形状底级板连接时可以直接用M7连吗？ 画的时候如何保证容值的精度呢？~       因为师兄第一次流片时用了图2的形式但是没测出来，没找到其它原因所以是怀疑是这种电容的问题，第二版时用了PDK中的电容就测出来了，但是看到很多文档或资料中的mim电容都是图2这样，应该是可以用的啊，没画过，所以请大牛指点~~

图1


图2

1973

回复 1# kuaiyu


    youyisi

miaoyue1999

没有测出来什么啊，我现在用的是别的fab的，就是图二这样接法，但是下极板也是打via下去用top metal借出去的

kuaiyu

回复 3# miaoyue1999

哦，就是整个delta-sigma调制器的性能没测出来，就是不管是顶级板还是底级板都是要用top metal连的？~

miaoyue1999

是的，现在我们的是这样处理的，我们这样处理是因为fab的机台太烂，你问问大牛，是怎么处理掉饿

stamp330

画成正方形等间距并在外面加DUMMY

duchao881001

我们基本上模拟部分都用图2的电容，射频的地反才用图1电容。貌似图一的电容很变态，我不喜欢，估计两个电容应该是有差距的，好多的设计规则都不一样。

half_honey

围观。。

tuza2000

基本都用图2

nntao1984

学习下