关于离子注入有点困惑

huang1986 · 发表于 2011-9-26 11:13:59

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

离子注入是将高能带电原子或分子直接掺入衬底的工艺。如果向衬底注入磷离子？注入后衬底硅岂不是带负电？小弟很是困惑，请大侠们帮忙解惑。谢谢！

jeremy2011 · 发表于 2011-10-5 09:29:11

不是带负电，是电子比较多！五族元素可以提供电子，这个不代表带负电。磷离子进入到沉底以后，虽然是离子，但是总体还是不显带电的。

maojunwang · 发表于 2012-2-19 22:01:23

回复 1# huang1986

拿出来之后即使带电也被中和了，和空气接触

iamshan · 发表于 2012-2-21 22:51:16

离子注入是将高能带电原子或分子直接掺入衬底的工艺。如果向衬底注入磷离子？注入后衬底硅岂不是带负电？小 ...
huang1986 发表于 2011-9-26 11:13

登录/注册后可看大图

注入的时候，wafer sub会跟类似接地的装置相连，带点离子注入之后被中和掉了，所以最后显中性

microe_quan · 发表于 2012-2-22 12:48:35

杂质还需要激活呢

wxchen888 · 发表于 2012-2-24 11:04:19

激活后形成N型半导体材料

tianshuai2012 · 发表于 2012-4-23 17:04:44

这里有个浓度的问题

hapblade007 · 发表于 2012-4-28 11:43:56

注入后wafer会带电，但是会被后续制程中和掉，如果中和这步不彻底或者出问题的话，会造成charge damage

hapblade007 · 发表于 2012-4-28 11:45:07

注入后wafer会带电，但是会被后续制程中和掉，如果中和这步不彻底或者出问题的话，会造成charge damage

gbxs1984 · 发表于 2012-5-11 10:10:19

注入根据机台的不同，有差别。大束流注入机台一般在粒子进入硅片前有一个电子喷淋中和的过程，实际上注入的大部分不是带电的离子了。小束流注入机台基本就会有一个SUB接地的类似过程，所以注入后的硅片实际不带电。

[求助] 关于离子注入有点困惑