关于mim电容容值大小的讨论

a1213613501 · 发表于 2025-8-28 16:35:00

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调用了两个工艺厂的mim电容这两个pcell的长和宽的值交换了一下容值相同但是pcell的形状不同
下极板的面积始终是一样的 CTM层也是一致的但是上极板的面积变了为什么上极板面积不会影响容值

gxc_cjgs · 发表于 2025-8-28 16:56:04

去看看剖面图吧，电容容值肯定与重叠面积有关，你只改变一个，影响不大

wmd201409 · 发表于 2025-8-28 17:29:35

MIM电容是在Mn和Mn-1之间查入了一层极板的，你现在只调整了Mn的面积。这样并没有影响中间极板与Mn，Mn-1的重合面积，电容值当然不变

522526tl · 发表于 2025-8-29 08:38:10

你的CTM跟下极板的等效面积没变，不一样的是CTM连到上层的金属形状变了，对于他们做model来说，估计是为了省事，所以没变，实际还是有微小变化的，你用EM工具抽取可以看看，应该是有变化的

ericking0 · 发表于 2025-8-29 09:41:32

相一下，电容极板面积是上下级板的金属面积呢？还是CTM面积呢？
同理，MOSFET的沟道是整个POLY呢？还是POLY搭在active上的部分呢？

MIM电容之所以比层间金属寄生电容大那么多，就是因为CTM区域的介质厚度小很多，旁边一圈overlap的metal贡献不了多少电容的；

zly1006 · 发表于 2025-8-31 17:52:27

这个你得好好看看剖面图了，CTM才是上极板，你认为的上级板只是给CTM电位的金属

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