关于mim电容容值大小的讨论

a1213613501 · 发表于 6 小时前

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调用了两个工艺厂的mim电容这两个pcell的长和宽的值交换了一下容值相同但是pcell的形状不同
下极板的面积始终是一样的 CTM层也是一致的但是上极板的面积变了为什么上极板面积不会影响容值

gxc_cjgs · 发表于 6 小时前

去看看剖面图吧，电容容值肯定与重叠面积有关，你只改变一个，影响不大

wmd201409 · 发表于 5 小时前

MIM电容是在Mn和Mn-1之间查入了一层极板的，你现在只调整了Mn的面积。这样并没有影响中间极板与Mn，Mn-1的重合面积，电容值当然不变

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