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[求助] 求一篇比较新的外文文献

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发表于 昨天 18:21 | 显示全部楼层 |阅读模式
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标题: Influence of etching profile on pattern collapse in complementary metal oxide semiconductor image sensor pixel with deep trench isolation


期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B


DOI: https://doi.org/10.1116/6.0004309

发表于 昨天 19:23 | 显示全部楼层
供参考

033203_1_6.0004309.pdf

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