BCD工艺里PNP晶体管怎么隔离啊？

音蛊 · 发表于 2025-4-19 16:00:01

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如果加isoring（shpdpwnbl_od2_t）会报错NBL.R.2，不让PNP的BJT放在NBL里。

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Mr_阿木 · 发表于 2025-4-21 10:14:03

pnp 放在NBL里就破坏了管子自己的结构。是不可以的。想隔离只能在四周包一圈PNP的guardring。

aaaaaxbbbbb · 发表于 2025-4-21 08:42:01

一般直接放在sub上面吧

W1508038 · 发表于 2025-4-21 09:46:40

目前在用的工艺用来隔离的叫DNW层，用一整个DNW层完全框住某些器件我们叫全隔离，那么相应的半隔离就是用DNW环来隔，从剖面图上看全隔离器件的底部是DNW，半隔离器件的底部还是psub，从四周和其他器件隔离开

小眼睛大长腿S · 发表于 2025-4-21 14:01:16

我们是再加一圈pnp guarding

音蛊 · 发表于 2025-4-21 18:40:33

小眼睛大长腿S 发表于 2025-4-21 14:01
我们是再加一圈pnp guarding

PNP的guardring是指？tsmc工艺只给了ISOring和PWELL和nwellguardingring

小眼睛大长腿S · 发表于 2025-4-22 11:20:06

音蛊发表于 2025-4-21 18:40
PNP的guardring是指？tsmc工艺只给了ISOring和PWELL和nwellguardingring

不清楚tsmc，smic是para_xV_isoring，三端为pepi nbl psub。看看你的isoring吧

wjxup777 · 发表于 2025-5-16 16:37:49

小眼睛大长腿S 发表于 2025-4-22 11:20
不清楚tsmc，smic是para_xV_isoring，三端为pepi nbl psub。看看你的isoring吧

这一看就是SMIC BCDA的工艺

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