smic中PSUB曾（Psub area nn）

蛋zizi · 发表于 2024-6-12 11:11:16

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

PSUB层 rule中解释为 Psub area nn 。

这一层实际是 Psub上高掺杂区域？
是否有隔离功能？
隔离功能与psub ring的效果谁好？
感谢

蛋zizi · 发表于 2024-6-12 11:13:11

顶顶顶顶顶

蛋zizi · 发表于 2024-6-12 11:14:16

层打错了 M

刚会飞的菜鸟 · 发表于 2025-1-7 14:10:26

想知道楼主最后有用PSUB作为隔离吗？

lcjwowo · 发表于 2025-1-8 17:47:14

可以用psub来隔离（看电感pcell就知道了），该层与t的nt_n是一样的

[求助] smic中PSUB曾（Psub area nn）