光刻图形

大秦

1、半导体工艺中，为什么光刻技术一般不支持圆形。走线只能45°或直角，焊盘只能是矩形或者八边形
2、数字后端设计中，有没有铜皮的概念
3、常见数字后端电源一般都是类似经纬线，为什么不做成PCB中铜皮互联的方式

菜鸟一号

1.由于在光刻流程中，光会发生反射折射，导致图形失真，需要后期OPC修正。且在pattern如刻蚀的过程中，也会有图形失真的情况。比如line end，mask是直角，刻蚀之后会变成圆角。
2. 数字后端使用的线并不是现成的，是通过化学沉积形成的。
3.经纬连接可以最大限度的增加走线密度，减少拥塞