TSMC18怎么在design rule里查看版图各层之间最小间距的要求

78669809 · 发表于 2024-4-2 15:54:08

YYle 发表于 2024-4-2 15:28
只能找到这种的，但是如果想要看M1与M2或其他的之间的最小间距或最小重叠面积之类的该zmkan
...

.18的制程 m1和m2没啥space rule呀，这是两个不同的金属层，你或许要问的是v1孔？（v1孔包括了m1和m2）这种孔包围的金属多给点 drc就解了了

ljh065216 · 发表于 2024-4-2 16:12:02

直接跑drc来验证，再cmd file或者文档 double check

YYle · 发表于 2024-4-2 16:21:34

模拟后端的小白发表于 2024-4-2 15:35
那就仔细的去看design rule，rule里面什么都有，

好的明白感谢回答

YYle · 发表于 2024-4-2 16:24:03

78669809 发表于 2024-4-2 15:54
.18的制程 m1和m2没啥space rule呀，这是两个不同的金属层，你或许要问的是v1孔？（v1孔包括了m1和m2）这 ...

感谢感谢回答，我的意思是例如我发的那张图片不是显示的M1的layout rule吗，是不是M1就只需满足那些要求，之外其他别的就不作要求？

78669809 · 发表于 2024-4-2 17:34:54

YYle 发表于 2024-4-2 16:24
感谢感谢回答，我的意思是例如我发的那张图片不是显示的M1的layout rule吗，是不是M1就只需满足那些要求 ...

emm 如果只考虑drc 肯定是没问题的，因为这就是rule 全都按rule设计了不可能会有错的呀。然后你说的 “其他之外不做要求” 没太明白你想表达什么意思

黄17141213013 · 发表于 2024-4-5 13:51:31

有一个表格里列出了所有金属的Pitch，Min Width/Min Space

Halsone · 发表于 2024-6-7 22:38:38

看看

练习1坤时 · 发表于 2024-6-10 17:58:43

仔细看看文档的最前面和最后面，一般这种层间间距都有图示标注。几千或者几万Å。或者搜PMD（金属前介质层），IMD（金属间介质层），passivasion（钝化）试试。

格拉西缅科 · 发表于 2024-6-11 09:37:23

layout里画几间距很小的线，跑drc，看错误代码去DR文件里找，或者直接看报错数据

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