半导体制造高速流体静电带电检测方法

copper_hou · 发表于 2024-3-14 08:38:06

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LEAN ESD公司的原创性LEANESCM静电测量系统，首次推出高速流体的静电带电检测方案，针对性地面向半导体集成电路Fab与封装制程中的高速水体（HPW或DIW）清洗单元与半导体平板显示（Flat Panel Display）TFT Array Fab制程中的高速水体清洗单元，提供量化的水体静电风险评价依据。

LEANECSM system to measure high pressured fluid charging.jpg

LEANECSM system to measure high pressured fluid charging.jpg

图1.LEANECSM高速水体静电带电测量系统

jiangnaner · 发表于 2024-3-14 08:43:22

谢谢

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