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查看: 413|回复: 4

[求助] 有没有大佬知道smic28里面的P4这一层怎么理解

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发表于 2024-2-29 13:48:48 | 显示全部楼层 |阅读模式
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有没有大佬知道smic28里面的P4这一层怎么理解
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与HKMG有关,HKMG概括就是用金属栅极代替硅栅提高介电常数,P4作为运算层参与刻蚀PMOS硅栅,P4对画图没什么影响,gate frist工艺需要硅栅实现自动准,所以先生产后刻蚀。
发表于 2024-2-29 13:48:49 | 显示全部楼层
本帖最后由 C7cgff 于 2024-2-29 17:23 编辑

与HKMG有关,HKMG概括就是用金属栅极代替硅栅提高介电常数,P4作为运算层参与刻蚀PMOS硅栅,P4对画图没什么影响,gate frist工艺需要硅栅实现自动准,所以先生产后刻蚀。
发表于 2024-2-29 14:01:06 | 显示全部楼层
和tsmc28的PM一样吧。。HKMG
发表于 2024-2-29 14:04:48 | 显示全部楼层
本帖最后由 feimou 于 2024-2-29 14:09 编辑

HKMG PMOS WorkingFunction poly remove
HKMG 的dummy poly remove。我从字母意思理解的,不知道对不对
 楼主| 发表于 2024-2-29 16:49:49 | 显示全部楼层
感谢各位大佬
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