关于工艺对ESD器件性能的影响

Wzx_imos · 发表于 2024-2-26 10:41:46

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我不太了解为什么低电阻的衬底会对ESD器件的It2有负面影响，有人能给小白解释一下吗？

fj0510 · 发表于 2024-2-27 15:36:04

问题太宽泛了，举个极端的例子：在SOI工艺下，载片的衬底电阻率会对SOI上的器件的ESD能力有影响吗？我觉得相关性不大。衬底电阻率对ESD能力的影响应该具体问题具体分析。

Wzx_imos · 发表于 2024-3-3 12:07:47

fj0510 发表于 2024-2-27 15:36
问题太宽泛了，举个极端的例子：在SOI工艺下，载片的衬底电阻率会对SOI上的器件的ESD能力有影响吗？我觉得 ...

嗯，确实是应该这样子

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