seal ring

David.Z · 发表于 2024-1-4 16:49:20

本帖最后由 David.Z 于 2024-1-4 16:54 编辑

TS的 .18工艺，我按照design rule做了个seal ring ，单个sealring 能跑过DRC，但是做MPW就会又sealring的报错，具体就是原因就是seal ring里面的孔是长条形的，是一个环，design rule里面也是这么做的，单个seal ring确实过了没报这些孔的错，但是放两个sealring就会报孔的错误，具体就是：
CO.W.1:contact width !=0.22
VIA1.W.1 :VIA1 must be 0.26 x 0.26
VIA2.W.1 :VIA2 must be 0.26 x 0.26
......
都是孔的问题，有大佬知道这么解决吗，是sealring做的有问题少了layer还是做mpw的时候需要一层layer来规避这些错误。

esbwong · 发表于 2024-1-4 17:11:29

本帖最后由 esbwong 于 2024-1-4 21:28 编辑

少了sealring layer ?
fab提供 sealring gds为什么不使用

linxishiguang · 发表于 2024-1-4 17:24:27

sealrin不是自己做的哈，会有fab提供的gds。里面的via不是drawing层，应该是bar层。

David.Z · 发表于 2024-1-4 17:31:44

esbwong 发表于 2024-1-4 17:11
少了sealring layer ?

这个有的，不然单个sealring都不能过。

David.Z · 发表于 2024-1-4 17:35:55

linxishiguang 发表于 2024-1-4 17:24
sealrin不是自己做的哈，会有fab提供的gds。里面的via不是drawing层，应该是bar层。 ...

pdk里面没有，fab就只给了个sealring的设计规则，让我改，请问bar层具体是哪一层，我这VIA12处理drawing 就只有pin和dummy。

David.Z · 发表于 2024-1-4 17:37:51

linxishiguang 发表于 2024-1-4 17:24
sealrin不是自己做的哈，会有fab提供的gds。里面的via不是drawing层，应该是bar层。 ...

还有sealring应该是长孔没错的吧，我看另一个工艺里面自带的sealring孔就是长孔围城的环，总不能方孔把sealring打满把。

ZN0001 · 发表于 2024-1-4 17:58:58

PAD层和prbndry层有嘛

xy20190211 · 发表于 2024-1-4 18:00:23

可以和fab厂说这个错的风险自己承担让他们放行 PDK下应该有提供的加了drc屏蔽层的

David.Z · 发表于 2024-1-5 09:10:17

ZN0001 发表于 2024-1-4 17:58
PAD层和prbndry层有嘛

pad有，prbndry没有，不过这个层我记得应该就是个边界吧，能用在sealring上吗？

ZN0001 · 发表于 2024-1-5 09:17:05

我这里有

[求助] seal ring

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