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查看: 679|回复: 5

[求助] igbt版图,功率器件

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发表于 2023-12-22 10:37:43 | 显示全部楼层 |阅读模式

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最近有一款IGBT的版图Source和Gate短路了,以为是打孔的问题,但是一直找不到,请问大家一般怎么查这种IGBT的版图短路问题?

搜了一圈实在找不到功率器件的帖子,在这里发一下
发表于 2023-12-22 10:54:05 | 显示全部楼层
最近有一款IGBT的版图Source和Gate短路了---那么是怎么发现G-E短路的呢?
发表于 2023-12-22 10:55:07 | 显示全部楼层
流片出来所有的die全部IGS fail了???所以回头来检查版图?
 楼主| 发表于 2023-12-22 10:57:03 | 显示全部楼层


CSFOC 发表于 2023-12-22 10:55
流片出来所有的die全部IGS fail了???所以回头来检查版图?


是的,流片出来后,测试发现整个都短路,所以推测是版图的问题,所以在考虑版图的问题
发表于 2023-12-22 11:04:00 | 显示全部楼层
去做热点,定位之后找版图对应的位置
发表于 2023-12-22 11:05:24 | 显示全部楼层
1找几颗die做一下FA,看一下short的位置在哪里
2版图上重点看一下那些有翻转、拼接、或者复制的相同单元结构之外的手动画孔的那些位置,或者是不是哪些地方自动Array之后有些孔忘记删了
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