tsmc180nm提取MIM电容寄生参数，XACT和XRC提取结果差别很大？

晬婴 · 发表于 2023-12-15 11:15:17

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小弟最近在使用tsmc180nm的MIM电容，对MIM电容进行PEX提取寄生参数。先调用一个库里10u×10u的MIM电容，模型自带电容206.3fF。版图里其他连线都不加，直接在上下极板打pin，提取上下极板的寄生电容
mim电容.JPG

选择XACT和XRC提取出来的上下极板之间的寄生差别很大，XACT提出来有20f，XRC提出来只有3f，
mim电容PEX.JPG

按我的理解XACT应该是更高精度的提取，可是上下极板之间的寄生会有20fF，感觉有点儿大，XACT和XRC哪个才更接近实际情况呢？谢谢大家~

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