SMIC0.18umBCD的sealring应该怎么画？

jiyue · 发表于 2023-10-8 09:37:03

各位大佬，想请教一个问题，SMIC0.18umBCD的sealring应该怎么画？

查到一个方法是这样的：常见的seal ring会将工艺中所有的层都列出来，并标明 dark or clear，用这里的dark和clear去对照工艺制程中这些layer的dark或clear，如果同为dark或clear则seal ring上面有这层，反之则seal ring上没有这层。

但是发现几乎所有的规则里seal ring的dark和clear和工艺制程中这些layer的dark或clear都是反的，那这要怎么画？

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omityoung · 发表于 2023-10-8 09:37:04

fab有提供searlring的gds。或者可以让fab加

jiyue · 发表于 2023-10-8 10:39:02

这是规则里对应的sealring结构图

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fengrlove · 发表于 2023-10-8 17:19:15

和工厂要参考gds

bing_bing · 发表于 2023-10-18 09:47:15

PDK里面没有sealring吗？

忍者神硅 · 发表于 2023-10-19 09:38:16

PDK里有SL的gds,导出来就能用了

wesley_wan · 发表于 2023-10-19 10:01:36

没有gds,严格按照rule自己画sealring也不难的

18800261604 · 发表于 2023-11-15 13:34:01

我按照sealring rule来画，但是会报出SRCK.4这个错误
Seal ring must be a close ring.
DRC check CT/M1/Mn/V1/Vn layers and all the listed layers must be drawn.
For non-SMIC standard seal ring design, SMIC can’t guarantee the seal ring quality.It’s strongly suggested to pass reliability test before used in new tape-out.
很奇怪

不谓侠 · 发表于 2023-11-15 14:24:37

18800261604 发表于 2023-11-15 13:34
我按照sealring rule来画，但是会报出SRCK.4这个错误
Seal ring must be a close ring.
DRC check CT/M1/Mn ...

忽略他就完了

18800261604 · 发表于 2023-11-15 16:25:16

不谓侠发表于 2023-11-15 14:24
忽略他就完了

确实只能忽略了

[求助] SMIC0.18umBCD的sealring应该怎么画？

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