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[转贴] ESD大佬基础知识点

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发表于 2023-9-8 09:28:43 | 显示全部楼层 |阅读模式

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一文讲透全电放电(ESD)保护,ESD细讲学问太深了 - 凡亿教育的文章 - 知乎https://zhuanlan.zhihu.com/p/564940753
 楼主| 发表于 2023-9-8 10:47:40 | 显示全部楼层
一文看懂MOS器件的发展与面临的挑战|半导体行业观察 - 半导体行业观察的文章 - 知乎 https://zhuanlan.zhihu.com/p/27791383
发表于 2023-9-8 10:54:55 | 显示全部楼层
ESD那个已经看过好几次了,写的挺好的,有些东西是柯教授那个教材的。
就是现在都不知道原作者是谁
 楼主| 发表于 2023-9-8 10:58:29 | 显示全部楼层
ESD保护电路概述(3) - xianyunyehe的文章 - 知乎
https://zhuanlan.zhihu.com/p/315548129
 楼主| 发表于 2023-9-8 10:59:21 | 显示全部楼层
模拟IC笔记—ESD ggNMOS放电曲线 - Analog CMOS的文章 - 知乎
https://zhuanlan.zhihu.com/p/147736385
 楼主| 发表于 2023-9-8 11:03:09 | 显示全部楼层
1)LDD(lightly doped drain)轻掺杂漏极,也就是通常所说的source drain extension源漏扩展技术。由于高电压,重掺杂的(N+/P)(以NMOS为例)结的耗尽层中产生巨大的电场,故改变漏端结构能够根本性的作用,LDD技术就使原本重掺杂的N+突变结转变为缓变结,通过在漏及外侧包裹轻掺杂的N型杂质,形成N+N/P结,从而缓和电场强度,它能将最大场强降低30%~40%,使被加速的电子在单个自由程内获得相对较小的动能,从而减少“幸运”电子(空穴)的数量,达到保护栅极的作用
 楼主| 发表于 2023-9-8 13:33:45 | 显示全部楼层
整理了一些关于ESD基础知识的文章,相互交叉验证,解决了以前不清楚的知识盲点。
包括为啥要加SAB,以前只知道是有好处,怎么有好处的却不清楚,现在可以有更多的了解了。
 楼主| 发表于 2023-9-8 13:34:33 | 显示全部楼层
 楼主| 发表于 2023-9-8 14:07:33 | 显示全部楼层
SAB = salicide blocking 一般都會在Drain, Source 端加上金屬矽化物 但是在ESD的情況下 如果沒有去除salicide (salicide很會導電)會讓ESD電流聚集在 drain 靠近 gate區 直接灌入 PN接面 會損毀此接面 造成損傷 因此要加SAB 讓整個Drain端當作第一崩潰點(snack back) PN面積大灌入大電流才能保護接面(用大面積之Drain端區域散熱與防止migration)
 楼主| 发表于 2023-9-8 14:08:25 | 显示全部楼层
没加SAB时,器件表面有层金属硅化物,电阻率很低,电流顺着表面走。加了SAB,电流顺着源漏走。
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