电流镜产生nA级电流时的测量误差

xduic

                               
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我在65nm工艺下搭建了一个电流源（电流大小由偏置电压决定，靠近电源和地的晶体管是开关管，输出端还有一个大小为800fF的mim电容），仿真的时候，电流的大小能在120nA左右（0.6V电源电压），结果流片回来测试只有几nA估计（通过测量电容的电压变化，以及开关信号得出），请问可能是什么原因呢？是否是在设计时晶体管本身处于亚阈值区，然后由于工艺失配等影响，使得输出电流显著减小？还是测试电容电压的方法不正确呢？请各位大佬点拨！

nanke

信息不明，是否可能是漏电导致的呢？IO的漏电（IO尺寸较大）？测量仪器（设备阻抗）的漏电？