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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › Analog Layout（版图） › Layout讨论区 › smic工艺下My,Mn,Mxy,1.25xMy这些什么意思
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[求助] smic工艺下My,Mn,Mxy,1.25xMy这些什么意思

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chouchole
发表于 2023-8-18 10:49:50 | 显示全部楼层 |阅读模式
50资产
求大佬解惑

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windprice

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M1 M1 Mxy M2-M3 1.25xMy M4 1.25xMn M5-My 10xTMn TM2
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windprice
发表于 2023-8-18 10:49:51 | 显示全部楼层
M1   M1
Mxy M2-M3
1.25xMy M4
1.25xMn M5-My
10xTMn TM2
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chouchole
 楼主| 发表于 2023-8-18 10:54:06 | 显示全部楼层
drm里没看明白
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maomao198477
发表于 2023-8-18 10:55:04 | 显示全部楼层
有文档说明的
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lhgsgtc
发表于 2023-8-18 10:57:18 | 显示全部楼层
后端互连线的metal

X Y Z代表不同的金属厚度

具体DRM应该都有标注
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chouchole
 楼主| 发表于 2023-8-18 11:24:26 | 显示全部楼层


windprice 发表于 2023-8-18 11:23
M1   M1
Mxy M2-M3
1.25xMy M4


感谢大佬
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