想问下大家管子上走线吗

benjude

想问下大家管子上走线吗，有听说不能走线是会把管子击穿？？？

这类版图会有很多空的区域用来走线，光开diff看着好空，看着管子密度好低。
比较想知道不能在管子上走线是什么原因，我感觉我画过的都是在管子上走的，没啥讲究

李幕白

q915958853 发表于 2023-7-12 10:15
对于其他有说工艺上的应力影响，这个影响存在吗

2019年鹏飞兄的回复：
你好，
  有同学提到了寄生效应。我们面对寄生效应应该从定性和定量两个方面分析。
  先分两个角度，工艺和信号：
1，工艺上，金属线跨过MOS，MOS影响金属线吗？金属线影响MOS吗？一般来说，不谈可靠性的话，工艺是支持在poly上走金属线的，它们之间有氧化层作隔离。
2，信号上，分噪声和耐压；
    噪声，多晶栅上的噪声会影响到金属线吗？金属线上的噪声会影响到多晶栅吗？噪声耦合和寄生电容大小、信号频率，噪声振幅等因素有关，具体的可以计算，计算所需的相关参数都可以从工艺文档中获得。经验的说法有“不要求匹配的无所谓”，“低频的无所谓”，“匹配器件上的走线要以相同形状跨过匹配器件”“高精度匹配不允许在匹配器件上走线”等。
    耐压，金属线和多晶栅之间的电压差有多大，有超过介质耐压的风险吗？经验的说法有“高压的金属线避免跨过低压器件”等。
    也没说M1就一定不能走啊，只要把它所造成的影响都考虑清楚了，就可以了。我刚翻了两个工艺文档，并没有提到M1走在多晶硅栅会影响可靠性。
  等等……

q915958853

你说的是走第几层的线~

benjude

q915958853 发表于 2023-7-12 09:35
你说的是走第几层的线~

没分，有啥区别吗。

q915958853

高层金属线是可以走呀，底层金属线一般不跨器件上

HDZ980104

能不能走线看公司要求和工艺，我现在做的是smic.18的，基本上都是器件上走线，除了一些敏感部分不走（差分对，电流镜等）

q915958853

HDZ980104 发表于 2023-7-12 09:40
能不能走线看公司要求和工艺，我现在做的是smic.18的，基本上都是器件上走线，除了一些敏感部分不走（差分 ...

没做过这个工艺，老哥你说的器件上走线是指这个工艺M1也能随意在器件沟道上跨过吗

benjude

q915958853 发表于 2023-7-12 09:51
没做过这个工艺，老哥你说的器件上走线是指这个工艺M1也能随意在器件沟道上跨过吗 ...

假设就是m1跨poly，是不是也就引入了不必要的寄生电容，除此之外还有啥影响不

q915958853

benjude 发表于 2023-7-12 09:56
假设就是m1跨poly，是不是也就引入了不必要的寄生电容，除此之外还有啥影响不
...

因为是底层金属离得近，应该还有工艺上的应力影响吧（等待大佬来确定O.o）

HDZ980104

q915958853 发表于 2023-7-12 09:51
没做过这个工艺，老哥你说的器件上走线是指这个工艺M1也能随意在器件沟道上跨过吗 ...

基本上都是M2 M3    M1基本上不在poly上走

李幕白

q915958853 发表于 2023-7-12 09:51
没做过这个工艺，老哥你说的器件上走线是指这个工艺M1也能随意在器件沟道上跨过吗 ...

是的，跨过只为了节省金属层数以及面积，等于省钱。