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楼主: Andyou

[求助] 关于esd管子

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发表于 2023-11-8 20:31:02 | 显示全部楼层


xwa 发表于 2023-11-8 11:41
感谢解答,但还有一个小疑问,就是加在D上加的SAB层相当于盖了一层silicide block,相当于增大了电阻,这 ...


我感觉是因为GGNMOS泄放电流是的瞬态过程,栅极也会影响ESD的泄放,有的GGNMOS栅极就串有电阻,因为ESD泄放过程中通过CGD寄生电容会拉高栅极电压,MOS短时间导通泄放ESD电荷,这只是其中的一个泄放机制,所以,如果S端增加电阻,那就在瞬态中形成源极负反馈,使VGS减小,阻碍了ESD电流,但是ESD最初阶段还是寄生NPN的BC结击穿的开启机制,
发表于 2023-11-10 09:57:19 | 显示全部楼层


ztstg2018 发表于 2023-11-8 20:31
我感觉是因为GGNMOS泄放电流是的瞬态过程,栅极也会影响ESD的泄放,有的GGNMOS栅极就串有电阻,因为ESD泄 ...


好的,感谢解答。问了一下同事,给出了另一个视角的解释:不管是P管还是N管,只在G和D之间加入SAB的原因是在没有触发寄生的BJT之前,大部分的电压其实降落在D下面的那个反偏的PN结上,为了增加抗压能力,所以需要在这个地方加入SAB,因为S端下面的PN结是正偏的,在GGNMOS模式下降落的压降比较小,所以不用加SAB。
发表于 2023-11-10 10:01:53 | 显示全部楼层


xwa 发表于 2023-11-10 09:57
好的,感谢解答。问了一下同事,给出了另一个视角的解释:不管是P管还是N管,只在G和D之间加入SAB的原因 ...



GSPMOS和GGNMOS的截面图

这个是PMOS和NMOS在寄生bjt下的示意图

这个是PMOS和NMOS在寄生bjt下的示意图
发表于 2023-11-10 13:23:24 | 显示全部楼层


xwa 发表于 2023-11-10 09:57
好的,感谢解答。问了一下同事,给出了另一个视角的解释:不管是P管还是N管,只在G和D之间加入SAB的原因 ...


这个寄生BJT的BC结也就是这个漏端寄生体二极管,一些工艺没有SAB层,所以会在D端串个二三百欧的电阻,,
发表于 2023-11-10 14:11:02 | 显示全部楼层


ztstg2018 发表于 2023-11-10 13:23
这个寄生BJT的BC结也就是这个漏端寄生体二极管,一些工艺没有SAB层,所以会在D端串个二三百欧的电阻,,
...


明白了,感谢解答
发表于 2023-11-22 14:56:31 | 显示全部楼层


xwa 发表于 2023-11-8 11:41
感谢解答,但还有一个小疑问,就是加在D上加的SAB层相当于盖了一层silicide block,相当于增大了电阻,这 ...


因为D端直接接触ESD电流,SAB是为了保护D端不收大电流冲击,同时也是让电流更加均匀
发表于 2023-11-22 16:39:09 | 显示全部楼层


18800261604 发表于 2023-11-22 14:56
因为D端直接接触ESD电流,SAB是为了保护D端不收大电流冲击,同时也是让电流更加均匀
...


好的,感谢解答
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