mos管制造工艺，为什么会有同型掺杂，如图

勇敢的芯 · 发表于 2023-5-9 17:35:36

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衬底端口为什么要做一个同型掺杂？

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勇敢的芯 · 发表于 2023-5-10 10:05:01

顶顶顶

勇敢的芯 · 发表于 2023-5-10 10:12:33

同型掺杂是为了提高杂质原子的浓度，但是为什么需要额外一个更高浓度杂志的区域呢

wojiaomeitounao · 发表于 2023-5-18 14:57:03

因为衬底端需要接电位保证PN结反偏，在那块做掺杂是为了增加欧姆接触。个人意见，如有不对~望大神指正!

PN_Allen · 发表于 2023-6-6 18:27:44

本帖最后由 PN_Allen 于 2023-6-6 18:29 编辑

接衬底用的，重掺杂降低接触电阻

yh919 · 发表于 2023-7-22 00:23:33

同型掺杂和重掺杂都是为了降低接触电阻，增强latchup的免疫能力。

iamshan · 发表于 2023-8-11 00:42:57

为了形成欧姆接触，轻掺杂会导致出现一个肖特基结

andyfan · 发表于 2023-8-11 09:06:43

iamshan 发表于 2023-8-11 00:42
为了形成欧姆接触，轻掺杂会导致出现一个肖特基结

这个是正确答案，重掺杂是为了形成良好的欧姆接触；直接体引出，因为WELL是轻掺杂，形成不了良好的欧姆接触，此时的金半接触会形成肖特基二极管，这个翻看一本半导体物理或者器件书，讲金半接触的就有。

GIDL · 发表于 2024-1-7 21:58:28

做BULK 用的

cd1992 · 发表于 2024-1-11 10:21:27

7楼正解

[求助] mos管制造工艺，为什么会有同型掺杂，如图