版图PP层和NN层的问题

vissa · 发表于 2023-5-16 11:19:55

2楼回答得太好了，点赞

Cayre · 发表于 2023-5-16 13:44:10

形象，清晰。

jvxiao · 发表于 2024-7-19 09:57:49

学习了

吐槽惯了 · 发表于 2024-7-19 10:05:31

学习了

bing_bing · 发表于 2024-7-19 11:11:05

2楼赞一个

firefang20 · 发表于 2025-6-2 15:14:49

cxchust 发表于 2023-4-23 11:14
从源头开始说，和你这个问题相关的有以下几个问题，搞清楚这几个问题我想你也就有了你需要的答案。

那我是否可以理解为OD区域以外的PP和NP其实不起作用，因为场氧化层没开窗的话离子也注入不进去。

cxchust · 发表于 3 天前

firefang20 发表于 2025-6-2 15:14
那我是否可以理解为OD区域以外的PP和NP其实不起作用，因为场氧化层没开窗的话离子也注入不进去。
...

PP和NP并不是独立的物理层，而是光刻掩膜图形，离子注入时没有NP/PP的区域被光刻胶覆盖，从而控制离子注入的范围和类型。
也不能笼统的说OD区域以外的NP和PP不起作用，它们的存在意在消除光刻对准的工艺偏差和注入的边缘效应，目的是让整个OD区域重掺杂离子注入更加均匀。

zengbiao · 发表于前天 10:53

cxchust 发表于 2023-4-23 11:14
从源头开始说，和你这个问题相关的有以下几个问题，搞清楚这几个问题我想你也就有了你需要的答案。

言简意赅，我愿成为比喻王，比喻的太好了

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