请教一下国内DUV数量

tencome · 发表于 2023-3-28 14:57:28

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

请问一下，国内有几台ASML的DUV 和 EUV ？

被美国禁运之后，短时间内买不到新设备了？

除了外资或者台资旗下，有几台属于内资FAB厂的？

J_YL · 发表于 2023-3-28 15:23:37

12吋厂一般都有DUV，EUV大陆一台都没有

andyfan · 发表于 2023-3-28 16:14:48

EUV没有，DUV的就很多了

tencome · 发表于 2023-3-28 16:23:00

andyfan 发表于 2023-3-28 16:14
EUV没有，DUV的就很多了

国内DUV机型一般可以做多少nm？

莫名晴天 · 发表于 2023-4-25 18:16:50

tencome 发表于 2023-3-28 16:23
国内DUV机型一般可以做多少nm？

极限可以做到7nm

[讨论] 请教一下国内DUV数量