finfet的cut问题

貌不可焱 · 发表于 2023-3-3 16:28:46

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为什么 S 的工艺M3，有color B的cut层，但是没有color A的cut层呢？求普及

luwang · 发表于 2023-3-3 16:53:14

本帖最后由 luwang 于 2023-3-6 09:46 编辑

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luwang · 发表于 2023-3-3 17:05:20

会不会是省个工艺步骤省点钱吧，目前觉得也就STD能用到M1，M2的都很少用，模拟M3就更没啥用了，而且T7工艺M2也是只有一种颜色的CUT

J_YL · 发表于 2023-3-3 17:27:29

工艺上color B cut和color A差不多，color A cut则是完全不同，工艺挑战大，应该只在M1有，这是我从工艺的角度理解的

貌不可焱 · 发表于 2023-3-3 17:31:44

J_YL 发表于 2023-3-3 17:27
工艺上color B cut和color A差不多，color A cut则是完全不同，工艺挑战大，应该只在M1有，这是我从工艺的 ...

感谢回答

luwang · 发表于 2023-3-3 18:05:15

本帖最后由 luwang 于 2023-3-6 10:00 编辑

J_YL 发表于 2023-3-3 17:27
工艺上color B cut和color A差不多，color A cut则是完全不同，工艺挑战大，应该只在M1有，这是我从工艺的 ...

应该是这样的

J_YL · 发表于 2023-3-6 09:20:10

luwang 发表于 2023-3-3 18:05
目前做的S工艺的1-4的cut ab都有啊

N+1 or N+2？确定M2-M4还有color A cut？

luwang · 发表于 2023-3-6 09:45:17

J_YL 发表于 2023-3-6 09:20
N+1 or N+2？确定M2-M4还有color A cut？

M1到M3的cutAB都有的，M４没的，打错了，不是N＋１／２

J_YL · 发表于 2023-3-6 10:13:11

luwang 发表于 2023-3-6 09:45
M1到M3的cutAB都有的，M４没的，打错了，不是N＋１／２

那是更先进的工艺吗？

14/12是DP没有cut啊

luwang · 发表于 2023-3-7 09:30:08

J_YL 发表于 2023-3-6 10:13
那是更先进的工艺吗？14/12是DP没有cut啊

7的

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