N6 fill添加问题

Roysunal · 发表于 2023-2-28 14:13:24

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使用TSMC N6工艺，在后面添加fill时，到PV里会报H240.M0.S.19.s的问题，是因为普通fill（FILL?BWP240H11P57CPDLVT）里面是M0层的原因导致的，有大佬知道该怎么解决吗？

Roysunal · 发表于 2023-3-1 14:57:10

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voiluce · 发表于 2023-3-2 09:14:14

禁用filler1 试试， std gap最小是2

xingyun666666 · 发表于 2023-3-2 11:02:47

voiluce 发表于 2023-3-2 09:14
禁用filler1 试试， std gap最小是2

请教下，为什么x1的filler经常用不到，tsmc还要制造这个？一直有这个疑问

Roysunal · 发表于 2023-3-6 15:39:20

voiluce 发表于 2023-3-2 09:14
禁用filler1 试试， std gap最小是2

但使用routeDesign -passiveFill 这条命令很奇怪

voiluce · 发表于 2023-3-6 16:50:33

routeDesign
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这样就行吧？

Roysunal · 发表于 2023-3-6 17:25:17

voiluce 发表于 2023-3-6 16:50
routeDesign
===
这样就行吧？

这样不行吧，普通fill是没有M0的，需要通过routeDesign -passiveFill来给普通fill加M0，routeDesign是加不上M0的。

voiluce · 发表于 2023-3-6 18:15:13

M0 ？ std 的stripe 里面没有 m0 ？

Roysunal · 发表于 2023-3-6 20:59:54

voiluce 发表于 2023-3-6 18:15
M0 ？ std 的stripe 里面没有 m0 ？

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我这边看的除了带metal的DCAP*，其他fill中间是不带M0 metal，这样在PV里面会报H240.M0.S.19.s的DRC问题。

voiluce · 发表于 2023-3-7 09:28:36

M0 下面要打孔到啥吗？没有的话可以用stripe 就算了。
不过 m0 应该是不用来绕线的，没有 m0 的filler 还是很古怪 ~~~

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