请问s家的CM层代表什么？

dddogda · 发表于 2023-2-10 09:55:24

前辈们求解答。CM在手册中的解释是跟Contact Hole（metal-1 to Metal Zero）,Metal Zero是什么呢？CM又是啥呢？有刨面图解释一下吗？下图是ldmos中出现的CM，看起来很像是连接M1跟SAB的。

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dddogda · 发表于 2023-2-11 22:21:52

顶一下

sun327130352 · 发表于 2023-2-12 21:05:00

不错的资源，谢谢分享

bing_bing · 发表于 2023-2-15 15:04:52

手册里面没解释吗

seafly2009 · 发表于 2023-2-15 15:37:54

从LDMOS结构方面来分析，Contact Hole（metal-1 to Metal Zero）这个我怀疑是增加LDMOS抗压能力的contact场板，我觉得你这个CM层下方打在SAB上，也就是单纯给LDMOS漂移区施加了一个电场，并没有导电功能，CM上面应该接的是GATE的M1高电平，你可以问一下FAB的CE，从器件角度应该是这样的

powerboy711 · 发表于 2023-2-17 13:25:32

define hv field plate

vissa · 发表于 2023-7-25 11:41:38

powerboy711 发表于 2023-2-17 13:25
define hv field plate

亲。能详细说说么。我感觉你懂得很多

sixj_666 · 发表于 2023-8-3 21:16:05

是cutM1吗？

[求助] 请问s家的CM层代表什么？

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