这种圆形的器件是怎么画的呢？

danalog

   

532725310 发表于 2023-2-16 18:35
SPAD版图本身是挺简单的，说白了就是个特殊形状的二极管阵列罢了，重要的是画SPAD时的具体尺寸参数以及用 ...

哥，我又来了。这次再问一个问题（我已经不太好意思了），最后一个问题。这种结构，阳极低电位，阴极加高压，pn结就是PWDNW。但是，可以看到PW和NW是挨在一起的，我拿silvaco仿了好多次，NW和PW总是会提前击穿，这两个WELL的浓度我是看pdk里面的NWELL电阻阻值，再拿silvaco仿真反推的，为了满足pdk里面的值，这两个WELL的浓度也挺大的。你们当时有没有考虑过这个问题呢？怎么解决的，我能想到的就是加NT_T层来阻挡PW的注入，但是这是违反规则的。工艺是65nm标准工艺（这里65nm工艺流着玩儿，挺有钱的

danalog

   

532725310 发表于 2023-2-16 18:35
SPAD版图本身是挺简单的，说白了就是个特殊形状的二极管阵列罢了，重要的是画SPAD时的具体尺寸参数以及用 ...

哥，可不可以加一个微信聊一聊，感觉国内能用3D stack工艺的并不多，我的微信是cryomsho