这种圆形的器件是怎么画的呢？

danalog

狱火虫 发表于 2023-2-2 10:29
这个的spice模型我的理解是需要自己建立的，就像以前的那种bipolar工艺的一样，所有的器件需要自己建模。 ...

感谢大佬分享！！！

532725310

这玩意看着像dtof里的感光元件啊，这玩意我们都是自己画的

danalog

532725310 发表于 2023-2-9 17:39
这玩意看着像dtof里的感光元件啊，这玩意我们都是自己画的

就是tof里面的感光元件，想问下老哥你们是怎么解决这个问题的

532725310

danalog 发表于 2023-2-10 14:21
就是tof里面的感光元件，想问下老哥你们是怎么解决这个问题的

你要是问怎么画出这种形状的，virtuoso有画圆的功能，前边有人讲了。要是问怎么画出符合自己预期性能要求的器件，那你们得自己画了然后做器件仿真，毕竟一般fab也不提供这玩意的model

532725310

danalog 发表于 2023-2-10 14:21
就是tof里面的感光元件，想问下老哥你们是怎么解决这个问题的

另外我们是做了两个die然后hybrid bonding在一起的，spad一个die，logic一个die

danalog

532725310 发表于 2023-2-11 11:16
另外我们是做了两个die然后hybrid bonding在一起的，spad一个die，logic一个die

听起来像3D堆叠工艺啊，我们的tof是第一次流片，经验有限，只是一个器件加上前端电路，大规模的集成还在探索之中，tof器件这一块确实很重要，可以多多交流，向你们学习

danalog

532725310 发表于 2023-2-11 11:16
另外我们是做了两个die然后hybrid bonding在一起的，spad一个die，logic一个die

老哥，想问你一个问题，希望你能回复。SPAD器件的版图我画了，但是看起来挺简单的，并没有文献里面的复杂，我害怕遗失了一些东西，流片出来就报废了，就是掩模版层次的信息你们会看吗？如果看的话怎么看啊，我想通过这样的方法去看，画完版图，不考虑性能，怎么确认流片能够成功

lalala2018

光器件一般用klayout 这玩意需要自己做tcad仿真

532725310

danalog 发表于 2023-2-16 15:31
老哥，想问你一个问题，希望你能回复。SPAD器件的版图我画了，但是看起来挺简单的，并没有文献里面的复杂 ...

SPAD版图本身是挺简单的，说白了就是个特殊形状的二极管阵列罢了，重要的是画SPAD时的具体尺寸参数以及用到的mask（包括阴阳极还有隔离结构什么的），这些是需要研发前后端还有fab一起协作完成的。想知道自己做的SPAD是否符合要求，那可以问问fab能不能发个sample gds过来参考下，最起码保证片子可以work

另外如果你们拿不准什么样的SPAD才是最优解，可以投一版测试片，把各种尺寸/形状的SPAD都做一个die上，再加点简单的测试电路，提前摸清楚那你们后续的正式产品就能少走不少弯路

danalog

532725310 发表于 2023-2-16 18:35
SPAD版图本身是挺简单的，说白了就是个特殊形状的二极管阵列罢了，重要的是画SPAD时的具体尺寸参数以及用 ...

感谢前辈的回答