怎么才能知道各well的掺杂浓度？

danalog · 发表于 2023-1-17 16:56:53

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大家好。最近要设计新器件，用silvaco仿真，这时各个well的掺杂浓度就显得很重要了，但是这是人家的机密，不对外公布，就是怎么通过PDK来逆推这些掺杂浓度呢？有没有什么思路呢？

seafly2009 · 发表于 2023-1-19 10:12:14

你看下PDK的model文件，里面应该有NCH沟道掺杂浓度，一般NCH和Nsub是倒掺杂浓度，Nsub比NCH大一个数量级，你直接把NCH乘10估计下吧，具体Nsub的浓度是没法计算的，只能看Fab的well imp recipe,这个人家也不会给你

jinfeier · 发表于 2023-1-30 10:34:53

之前上学时有用过，之前思路就是查论文，通过仿真估计验证，大概知道个量级，找下临界值，不知道还用别的方法嘛

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