关于芯片各layer名字解释

墨默 · 发表于 2022-12-28 10:22:23

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在用calibre和skippper辅助修drc和lvs时，不知道应该开那些图层，对于部分图层名称意思不知道。
例如，我知道M1 V1 ~ ALPA是指金属层。
但是，AA（有源区）、NW（N井）、GT P2 SN SP SAB P4 CT MD PSUB 等代表什么意思呢？
请大神指教~

fengrlove · 发表于 2022-12-28 10:34:24

GT==poly，P2==poly2，SN==n implant，SP=P implant，SAB==Salicide Block，P4 不知道，CT=cont，MD 钝化层开窗。。。。Design Rule 一般前面几页就讲到

suzhouwuyanzu · 发表于 2022-12-28 10:36:26

找一本工艺或者layout的书看看

李幕白 · 发表于 2022-12-28 11:18:38

fengrlove 发表于 2022-12-28 10:34
GT==poly，P2==poly2，SN==n implant，SP=P implant，SAB==Salicide Block，P4 不知道，CT=cont，MD 钝化层 ...

P4应该是第四层多晶硅

LambertZhang. · 发表于 2022-12-28 18:13:07

补充一个Psub是指P型衬底

王晦气 · 发表于 2022-12-30 14:29:52

工艺design rule文档每层都有描述

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