请问“栅衬底交叠电容”指的是哪里的电容？

红红的西瓜 · 发表于 2022-12-11 12:33:55

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本帖最后由红红的西瓜于 2022-12-11 12:34 编辑

如题，“栅衬底交叠电容”指的是哪里的电容？下面是cadence下器件参数和自己找的BSIM4.3.0模型手册

skygardon · 发表于 2022-12-11 13:08:19

这个指的是版图画的栅长与工艺制造的实际有效栅长的误差部分，在栅的边缘部分与衬底之间的电容。

红红的西瓜 · 发表于 2022-12-11 16:52:38

skygardon 发表于 2022-12-11 13:08
这个指的是版图画的栅长与工艺制造的实际有效栅长的误差部分，在栅的边缘部分与衬底之间的电容。 ...

感谢回复。有点疑问，再请教一下。
“栅的边缘部分与衬底之间的电容”，栅的边缘部分难道不是栅源和栅漏交叠的电容吗？体现在参数中的Covlgs/Vovlgd。还是说其中还有某种区分呢？

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