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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › 集成电路生产/封装/工艺 › 生产/封装讨论区 › sti是一点bird beak都没有了吗？
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查看: 1158|回复: 1

[求助] sti是一点bird beak都没有了吗？

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wyouc
发表于 2022-12-7 13:34:21 | 显示全部楼层 |阅读模式

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  LOCOS工艺会形成类似鸟嘴的结构，sti是完全消除了 bird beak，还是说也会有一点bird beak
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小白鞋
发表于 2023-1-30 22:07:40 来自手机 | 显示全部楼层
据我看的资料的理解，sti工艺是替代locos工艺，完全消除bird beak.
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