请问一下，工艺制造中氧化层的厚度是什么样的

wyouc · 发表于 2022-12-5 09:37:41

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我看有的学校的课件上写着，氧化层的边缘和中心厚度是不一致的，我想问一下，是由边缘到中心厚度增加还是厚度减少，是线性的增加或减少的吗

ahhanliang · 发表于 2022-12-5 11:26:41

一般的栅氧化层是通过热氧化硅来实现的，由于边缘（AA与STI交界的地方）的侧面也会接触到氧化物，所以边缘的氧化深度会稍微深一点，这在厚氧层（HV器件的栅氧化层）上尤其明显，所以边缘的厚度会比中心的稍厚（俗称bird beak--不确定写对了没：）），但是这个变化很快，大概印象在1u以内就结束了，里面都是均匀的氧化层了.

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