NBL埋层

FlyingPig2 · 发表于 2024-11-28 15:58:09

就是为了减小hvbn的掺杂浓度，提高耐压。实际mask也是slot的，但是注入完肯定是一个整的，只是整体浓度降低了。不得不说，帮大家省了一张mask

longyanzhinu · 发表于 2025-3-14 09:13:01

FlyingPig2 发表于 2024-11-28 15:58
就是为了减小hvbn的掺杂浓度，提高耐压。实际mask也是slot的，但是注入完肯定是一个整的，只是整体浓度降低 ...

省了哪一张板

FlyingPig2 · 发表于 2025-3-18 09:45:08

longyanzhinu 发表于 2025-3-14 09:13
省了哪一张板

本来是需要两个不同浓度的nbl层，两个步骤，两张mask，现在通过slot的方式，实现了一张mask一次注入。

longyanzhinu · 发表于 2025-3-27 15:35:49

FlyingPig2 发表于 2025-3-18 09:45
本来是需要两个不同浓度的nbl层，两个步骤，两张mask，现在通过slot的方式，实现了一张mask一次注入。
...

那这种实际中NBL这层是有slot的吗，还是一些地方是薄一些其他地方后一些

FlyingPig2 · 发表于 4 天前

longyanzhinu 发表于 2025-3-27 15:35
那这种实际中NBL这层是有slot的吗，还是一些地方是薄一些其他地方后一些
...

实际注入的时候有slot，注入完扩散结束后是没有slot的，浓度低一些

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