NBL埋层

FlyingPig2 · 发表于 2024-11-28 15:58:09

就是为了减小hvbn的掺杂浓度，提高耐压。实际mask也是slot的，但是注入完肯定是一个整的，只是整体浓度降低了。不得不说，帮大家省了一张mask

longyanzhinu · 发表于 2025-3-14 09:13:01

FlyingPig2 发表于 2024-11-28 15:58
就是为了减小hvbn的掺杂浓度，提高耐压。实际mask也是slot的，但是注入完肯定是一个整的，只是整体浓度降低 ...

省了哪一张板

FlyingPig2 · 发表于 2025-3-18 09:45:08

longyanzhinu 发表于 2025-3-14 09:13
省了哪一张板

本来是需要两个不同浓度的nbl层，两个步骤，两张mask，现在通过slot的方式，实现了一张mask一次注入。

longyanzhinu · 发表于 2025-3-27 15:35:49

FlyingPig2 发表于 2025-3-18 09:45
本来是需要两个不同浓度的nbl层，两个步骤，两张mask，现在通过slot的方式，实现了一张mask一次注入。
...

那这种实际中NBL这层是有slot的吗，还是一些地方是薄一些其他地方后一些

FlyingPig2 · 发表于 2025-3-31 11:06:16

longyanzhinu 发表于 2025-3-27 15:35
那这种实际中NBL这层是有slot的吗，还是一些地方是薄一些其他地方后一些
...

实际注入的时候有slot，注入完扩散结束后是没有slot的，浓度低一些

dcce · 发表于 2025-5-20 17:58:16

longyanzhinu 发表于 2025-3-27 15:35
那这种实际中NBL这层是有slot的吗，还是一些地方是薄一些其他地方后一些
...

我个人理解是，后续还有那么多工艺，很多步骤都包含快速热退火或者其他一些工艺，到最后这个SNBL肯定浓度趋近于均匀了。个人理解

不吃细糠的山猪 · 发表于 2025-5-20 18:05:03

张2018 发表于 2022-11-19 12:41
开slot应该就是为了降低浓度提高耐压，这样可以省一张版，而且NBL是做在很前面的，后面会有推结，所以slot ...

请教一下，SMIC DNW和NBL之间在热扩散后会接触吗？他俩之间应该还有未掺杂的P型衬底吧

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