ESD 器件之间的会不会出现Latch Up 问题？

Scott2885212 · 发表于 2022-10-25 22:25:45

明显发生不均匀导通了，建议AA contact的布局优化一下

KunKKa · 发表于 2022-10-27 23:27:23

楼主请标一下画圈的地方所对应的是什么什么管子，以及guardring是接的什么电位

fu5673921 · 发表于 2022-11-1 10:00:04

感觉和工艺的不均匀性有点关系，可以考虑STI和AA 交接处搭一段SAB

Scott2885212 · 发表于 2022-11-3 21:27:11

肯定会，加Guard Ring

u12u34 · 发表于 2022-11-4 09:28:03

从器件结构上确实存在寄生SCR，这也是导致失效的原因之一。关于latch up和ESD设计可以关注我的公众号：番茄ESD小栈昨天我刚写了一期关于latch-up的。

Scott2885212 · 发表于 2022-11-8 21:46:30

HeFei changxin 在 zhao pin ESD 方面的人才，有意加入，可以V xin联系; 号码 531254109

ljk0596 · 发表于 2023-3-18 07:42:27

大江南北发表于 2022-10-19 12:13
从图片上看烧毁的都在边边上，是不是finger开启不均匀

finger开启不均匀的话应该是烧在中间吧

powerboy711 · 发表于 2023-3-22 16:25:31

低压esd离高压esd太近了，具体要看vcc多高电压，距离要求不同

小白鞋 · 发表于 2023-6-30 09:00:29

ljk0596 发表于 2023-3-18 07:42
finger开启不均匀的话应该是烧在中间吧

为什么呢？帮忙解释一下。

PN_Allen · 发表于 2023-6-30 10:31:21

小白鞋发表于 2023-6-30 09:00
为什么呢？帮忙解释一下。

相比边上，中间的容易开启。
因为中间距离guard ring最远，等效可以讲中间finger衬底电阻最大，相应的电流流过压降大使得它的寄生BJT更容易正偏开启

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