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AKA西界 发表于 2022-9-1 15:04 好的 谢谢! 在哪查看是否有butting工艺。
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yfanny1980 发表于 2022-9-13 09:06 Design Rule和Command file
zwy越 发表于 2025-6-25 15:02 butting结构指的是NMOS中S的N+与衬底B的P+直接相邻。工艺中通常会有sab层,会在有源区上形成一层熔融金属物 ...
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