什么是Butting结构？

AKA西界 · 发表于 2022-8-30 12:51:07

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衬底接触采用Butting结构。请教什么是Butting结构？谢谢！

haoren007 · 发表于 2022-8-30 13:49:00

我的理解就是接电源的PMOS的源漏端直接用SP接N阱的SN,同样接地的NMOS的源漏端直接用SN接P阱的SP,简而言之，不用金属连接就可以实现

AKA西界 · 发表于 2022-8-30 16:10:02

haoren007 发表于 2022-8-30 13:49
我的理解就是接电源的PMOS的源漏端直接用SP接N阱的SN,同样接地的NMOS的源漏端直接用SN接P阱的SP,简而言之， ...

感谢! 这样连，有什么优缺点？

haoren007 · 发表于 2022-8-31 08:47:33

AKA西界发表于 2022-8-30 16:10
感谢! 这样连，有什么优缺点？

缺点是Active的方块电阻比铝电阻大，传输过程中有电压损耗
优点是节约面积

AKA西界 · 发表于 2022-8-31 11:36:25

haoren007 发表于 2022-8-31 08:47
缺点是Active的方块电阻比铝电阻大，传输过程中有电压损耗
优点是节约面积
...

好的谢谢！但是我把active连到一起，lvs会报这条衬底的连线的错。是连错了（有需要什么注意的地方）还是说工艺上不允许这么连？（网上有查到说有些可能工艺上不允许怎么连）

yfanny1980 · 发表于 2022-8-31 17:07:11

必须是有butting工艺的才能用butting结构，再就是看看你是不是都做对了

haoren007 · 发表于 2022-9-1 09:02:39

AKA西界发表于 2022-8-31 11:36
好的谢谢！但是我把active连到一起，lvs会报这条衬底的连线的错。是连错了（有需要什么注意的地方） ...

FAB设计规则如果有注释：butting diffusion is allowed
你就可以放心这样设计，如果没有，还请和CE沟通，不然是不能随意设计的

AKA西界 · 发表于 2022-9-1 15:04:08

yfanny1980 发表于 2022-8-31 17:07
必须是有butting工艺的才能用butting结构，再就是看看你是不是都做对了

好的谢谢！在哪查看是否有butting工艺。

AKA西界 · 发表于 2022-9-1 15:06:09

haoren007 发表于 2022-9-1 09:02
FAB设计规则如果有注释：butting diffusion is allowed
你就可以放心这样设计，如果没有，还请和CE沟通， ...

OK，谢谢

ncash0933 · 发表于 2022-9-1 15:35:38

谢谢分享

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