INNOVUS中M3 power下很多cell 出pin时候有short

aoooo · 发表于 2022-8-30 10:14:09

lzqxiang 发表于 2022-8-30 09:50
你在M1的电源raw上，铺一层重叠的M2电源，M3接在M2上，VIA1最后再放置

我现在电源就是这么搞的 m2 压在m1上面 m1到m2的孔最后再打但是和现在的short没啥关系好像

aoooo · 发表于 2022-8-30 10:17:23

ime 发表于 2022-8-30 09:46
我给你的是T N7的PG图，SMIC12没做过，猜测12nm也可以借鉴这种不惯通的打法吧。另外，重要的是尝试找foun ...

感谢感谢

IC练习生 · 发表于 2022-8-30 11:21:23

学习了，感谢感谢

lzqxiang · 发表于 2022-8-30 14:33:13

aoooo 发表于 2022-8-30 10:14
我现在电源就是这么搞的 m2 压在m1上面 m1到m2的孔最后再打但是和现在的short没啥关系好像
...

建议 M3的vdd vss的间距用最小间距这样工具就没法在vdd vss之间过线

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